石墨薄膜电阻开关特性的研究简

李小平;梁丹丹;吴建洪;贾湘江;陈鹏

doi:10.13718/j.cnki.xsxb.2018.03.004

西南师范大学学报(自然科学版)

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石墨薄膜电阻开关特性的研究简

李小平;梁丹丹;吴建洪;贾湘江;陈鹏. 石墨薄膜电阻开关特性的研究简[J]. 西南师范大学学报(自然科学版), 2018, 43(3): 21-25. doi: 10.13718/j.cnki.xsxb.2018.03.004

引用本文:

李小平;梁丹丹;吴建洪;贾湘江;陈鹏. 石墨薄膜电阻开关特性的研究简[J]. 西南师范大学学报(自然科学版), 2018, 43(3): 21-25. doi: 10.13718/j.cnki.xsxb.2018.03.004

Citation:

石墨薄膜电阻开关特性的研究简

李小平;梁丹丹;吴建洪;贾湘江;陈鹏

西南大学物理科学与技术学院

摘要: 采用磁控溅射法以高纯石墨为靶材在单晶硅(100)上制备了石墨薄膜,通过SEM扫描表征其表面形貌以及截面厚度,利用XRD对石墨薄膜的晶体结构进行分析,再运用Keithley 2400对器件的I-V曲线进行测试.研究发现,通过磁控溅射得到的Si/C/Ag结构的器件具有明显的双极电阻开关效应,在一开始时,电阻开关比可以达到105倍,继续扫描直至曲线达到稳定状态后的比值也在103左右.这种显著的电阻开关特性经过研究被认为是石墨在溅射过程中形成稳定的缺陷对载流子的俘获和释放,使得器件的电阻突变而导致的.
- 电阻开关 /
- 石墨 /
- 磁控溅射 /
- 碳薄膜

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石墨薄膜电阻开关特性的研究简

李小平;梁丹丹;吴建洪;贾湘江;陈鹏

西南大学物理科学与技术学院

关键词:

电阻开关 /
石墨 /
磁控溅射 /
碳薄膜

摘要: 采用磁控溅射法以高纯石墨为靶材在单晶硅(100)上制备了石墨薄膜,通过SEM扫描表征其表面形貌以及截面厚度,利用XRD对石墨薄膜的晶体结构进行分析,再运用Keithley 2400对器件的I-V曲线进行测试.研究发现,通过磁控溅射得到的Si/C/Ag结构的器件具有明显的双极电阻开关效应,在一开始时,电阻开关比可以达到105倍,继续扫描直至曲线达到稳定状态后的比值也在103左右.这种显著的电阻开关特性经过研究被认为是石墨在溅射过程中形成稳定的缺陷对载流子的俘获和释放,使得器件的电阻突变而导致的.