Mo原子表面扩散激活能的计算及Mo2C膜成膜机理

西南师范大学学报(自然科学版)

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Mo原子表面扩散激活能的计算及Mo2C膜成膜机理

Mo原子表面扩散激活能的计算及Mo2C膜成膜机理[J]. 西南师范大学学报(自然科学版), 2000, 25(4).

引用本文:

Mo原子表面扩散激活能的计算及Mo2C膜成膜机理[J]. 西南师范大学学报(自然科学版), 2000, 25(4).

The surface excited energy of Mo atom and mechanism of preparing film of Mo2C film[J]. Journal of Southwest China Normal University(Natural Science Edition), 2000, 25(4).

Citation:

The surface excited energy of Mo atom and mechanism of preparing film of Mo2C film[J]. Journal of Southwest China Normal University(Natural Science Edition), 2000, 25(4).

Mo原子表面扩散激活能的计算及Mo2C膜成膜机理

The surface excited energy of Mo atom and mechanism of preparing film of Mo2C film

摘要: 应用Collins模型, 计算了Mo原子表面扩散激活能. 根据实验结果, 论证了如下结论:在制备Mo2C膜的过程中, Mo(CO)6的变化遵从先被基底吸附, 发生相变再进行级联式分解的两步机制; 其成膜过程是Mo(CO)6先分解, 再由Mo碳化为Mo2C成膜. 用Gibbs函数最小的原理,探讨了成膜的适宜温度.
- 扩散激活能、Mo2C膜、成膜机理

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Mo原子表面扩散激活能的计算及Mo2C膜成膜机理

关键词:

扩散激活能、Mo2C膜、成膜机理

摘要: 应用Collins模型, 计算了Mo原子表面扩散激活能. 根据实验结果, 论证了如下结论:在制备Mo2C膜的过程中, Mo(CO)6的变化遵从先被基底吸附, 发生相变再进行级联式分解的两步机制; 其成膜过程是Mo(CO)6先分解, 再由Mo碳化为Mo2C成膜. 用Gibbs函数最小的原理,探讨了成膜的适宜温度.