DLC,TiN薄膜的环境摩擦学特性研究
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摘要: 采用非平衡磁控溅射及电弧离子镀技术在304奥氏体不锈钢表面沉积了类金刚石(DLC)及TiN 薄膜.用纳米压痕仪、表面粗糙度仪、扫描电镜等检测了薄膜的显微硬度、表面粗糙度及表面形貌.并用球—盘式摩擦磨损试验仪评价了不同介质(干摩擦、水润滑、油润滑)条件下薄膜的摩擦磨损性能.结果表明:在干摩擦及水润滑条件下,TiN,DLC两种薄膜均明显改善了基体的耐磨性和润滑性,DLC薄膜性能更佳.但相对于干摩擦,在水润滑条件下,DLC薄膜的摩擦系数反而有所升高,这主要源于H2O 与O2 在摩擦过程中参与反应,降低了薄膜的力学性能和化学惰性从而增加了粘着效应.在油润滑条件下,DLC,TiN 薄膜与基体摩擦系数相近甚至略高,薄膜的沉积虽然有利于基体耐磨性能的提高,但并不能改善基体的润滑特性.
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