羰基金属气相沉积方法进行Al2O3基片表面合金化研究

章娴君,王显祥,罗玲,郑慧雯

西南师范大学学报(自然科学版)

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羰基金属气相沉积方法进行Al2O3基片表面合金化研究

章娴君,王显祥,罗玲,郑慧雯. 羰基金属气相沉积方法进行Al2O3基片表面合金化研究[J]. 西南师范大学学报(自然科学版), 2002, 27(4).

引用本文:

章娴君,王显祥,罗玲,郑慧雯. 羰基金属气相沉积方法进行Al2O3基片表面合金化研究[J]. 西南师范大学学报(自然科学版), 2002, 27(4).

Study on the Alloy of Al2O3 Substrate Surface by Chemical Vapour Deposition(CVD) of Carbonyl Metals[J]. Journal of Southwest China Normal University(Natural Science Edition), 2002, 27(4).

Citation:

Study on the Alloy of Al2O3 Substrate Surface by Chemical Vapour Deposition(CVD) of Carbonyl Metals[J]. Journal of Southwest China Normal University(Natural Science Edition), 2002, 27(4).