实时测量表面形貌的正弦调制半导体激光干涉仪

谭兴文,何国田

西南师范大学学报(自然科学版)

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实时测量表面形貌的正弦调制半导体激光干涉仪

谭兴文,何国田. 实时测量表面形貌的正弦调制半导体激光干涉仪[J]. 西南师范大学学报(自然科学版), 2009, 34(2).

引用本文:

谭兴文,何国田. 实时测量表面形貌的正弦调制半导体激光干涉仪[J]. 西南师范大学学报(自然科学版), 2009, 34(2).

Sinusoidal Phase Modulating Laser Diode Interferometer for Real-Time Surface Profile Measurement[J]. Journal of Southwest China Normal University(Natural Science Edition), 2009, 34(2).

Citation:

Sinusoidal Phase Modulating Laser Diode Interferometer for Real-Time Surface Profile Measurement[J]. Journal of Southwest China Normal University(Natural Science Edition), 2009, 34(2).

实时测量表面形貌的正弦调制半导体激光干涉仪

谭兴文,何国田

西南大学,物理科学与技术学院,重庆,400715;重庆大学,电气工程学院,重庆,400020,重庆师范大学物理学与信息技术学院,重庆,400047;中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800

Sinusoidal Phase Modulating Laser Diode Interferometer for Real-Time Surface Profile Measurement

摘要: 设计了一种实时测量表面形貌的正弦相位调制半导体激光干涉仪,对其抗干扰的实时测量原理进行了分析.在该正弦相位调制干涉仪中,利用高速图像传感器探测干涉信号,该干涉信号通过信号处理电路实时鉴相得到被测表面所对应的相位分布,即可实时获得待测量物体的表面形貌.在实验中,测量了楔形光学平板的表面形貌,测量点为30×30个,测量时间小于10 ms,重复测量精度为4.3 nm.实验结果表明该正弦相位调制干涉仪的有效性.
- 实时测量,表面形貌,正弦相位调制干涉仪,鉴相,时序控制

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实时测量表面形貌的正弦调制半导体激光干涉仪

谭兴文,何国田

西南大学,物理科学与技术学院,重庆,400715;重庆大学,电气工程学院,重庆,400020,重庆师范大学物理学与信息技术学院,重庆,400047;中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800

关键词:

实时测量,表面形貌,正弦相位调制干涉仪,鉴相,时序控制

摘要: 设计了一种实时测量表面形貌的正弦相位调制半导体激光干涉仪,对其抗干扰的实时测量原理进行了分析.在该正弦相位调制干涉仪中,利用高速图像传感器探测干涉信号,该干涉信号通过信号处理电路实时鉴相得到被测表面所对应的相位分布,即可实时获得待测量物体的表面形貌.在实验中,测量了楔形光学平板的表面形貌,测量点为30×30个,测量时间小于10 ms,重复测量精度为4.3 nm.实验结果表明该正弦相位调制干涉仪的有效性.